摘要:
本发明公开一种基于硅基MOEMS光开关装置的微光机电系统,属于引信安全系统领域。主要由硅基MOEMS光开关装置,磁阻传感器,控制电路等组成。MOEMS光开关装置由输入光纤、输出光纤、可动式微镜、硅基后坐保险装置、电热拔销器、电热执行器组成。系统的开关通和断通过控制输入光纤、输出光纤和可动式微镜组成的侧壁反射光纤光路通和断实现,系统设计两道保险,第一道保险激励来自后坐过载环境,第二道保险激励来自地磁环境。本发明要解决的技术问题为:进一步提高微光机电安全系统的集成度并实现尺寸微小型化,解决引信系统的电磁干扰,提高电磁兼容性。具有以下优点:(1)结构尺寸微小;(2)电磁兼容性强。(3)抗过载能力强。