发明授权
- 专利标题: 衬底运载装置
- 专利标题(英): Substrate carrier
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申请号: CN200610001445.7申请日: 2006-01-17
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公开(公告)号: CN1936071B公开(公告)日: 2010-05-12
- 发明人: T·克卢格 , O·海默尔
- 申请人: 应用薄膜有限公司
- 申请人地址: 德国阿尔策瑙
- 专利权人: 应用薄膜有限公司
- 当前专利权人: 应用薄膜有限公司
- 当前专利权人地址: 德国阿尔策瑙
- 代理机构: 北京纪凯知识产权代理有限公司
- 代理商 赵蓉民
- 优先权: 102005045718.5 2005.09.24 DE
- 主分类号: C23C14/34
- IPC分类号: C23C14/34
摘要:
本申请涉及一种用于衬底的运载装置,其中运载装置至少部分是由热膨胀系数高于衬底热膨胀系数的材料构成。为了避免或者至少减少衬底在边缘处的不均匀涂敷,特别是在溅射过程中,板片在中心与运载装置相连。该板片的热膨胀系数低于其在运载装置固定的位置处运载装置在该区域的热膨胀系数。
公开/授权文献
- CN1936071A 衬底运载装置 公开/授权日:2007-03-28
IPC分类: