衬底运载装置
摘要:
本申请涉及一种用于衬底的运载装置,其中运载装置至少部分是由热膨胀系数高于衬底热膨胀系数的材料构成。为了避免或者至少减少衬底在边缘处的不均匀涂敷,特别是在溅射过程中,板片在中心与运载装置相连。该板片的热膨胀系数低于其在运载装置固定的位置处运载装置在该区域的热膨胀系数。
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