发明公开
- 专利标题: 多功能真空连续镀膜装置
- 专利标题(英): Multifunctional vacuum continuous coating apparatus
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申请号: CN200510093034.0申请日: 2005-08-25
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公开(公告)号: CN1920091A公开(公告)日: 2007-02-28
- 发明人: 杨坚 , 古宏伟 , 冯彬 , 金振奎 , 刘慧舟 , 屈飞 , 马平
- 申请人: 北京有色金属研究总院
- 申请人地址: 北京市新街口外大街2号
- 专利权人: 北京有色金属研究总院
- 当前专利权人: 有研工程技术研究院有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市新街口外大街2号
- 代理机构: 北京北新智诚知识产权代理有限公司
- 代理商 朱丽华
- 主分类号: C23C14/56
- IPC分类号: C23C14/56 ; C23C14/34
摘要:
本发明公开了一种多功能真空连续镀膜装置,由真空镀膜室、泵抽及真空测量系统、气路及控制系统和控制各单元装置电源开关的电控系统组成,所述的气路及控制系统的各气路接入真空镀膜室,所述真空镀膜室内布控有电子枪、热蒸发电极和磁控溅射靶,还配有基带卷绕系统,该基带卷绕系统由分置在真空镀膜室两侧的放带室、收带室构成。它还配有机架台,真空镀膜室及基带卷绕系统固定在其上,泵抽系统安置在其内;机架台两侧有用于活性固定放带、收带室的小支架台。真空室内装有样品、电子枪、热蒸发舟和磁控溅射靶挡板。在电子枪与热蒸发舟之间、热蒸发舟与热蒸发舟之间均设有挡板。
公开/授权文献
- CN100497727C 多功能真空连续镀膜装置 公开/授权日:2009-06-10
IPC分类: