Invention Publication
- Patent Title: 一种可提高靶材利用率的磁控溅射靶
- Patent Title (English): Magnetron sputtering target capable of improving the availability of target materials
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Application No.: CN200310105218.5Application Date: 2003-11-28
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Publication No.: CN1621559APublication Date: 2005-06-01
- Inventor: 宫骏 , 肖金泉 , 孙超 , 华伟刚 , 刘山川 , 王启民 , 王铁钢 , 裴志亮 , 闻立时
- Applicant: 中国科学院金属研究所
- Applicant Address: 辽宁省沈阳市沈河区文化路72号
- Assignee: 中国科学院金属研究所
- Current Assignee: 中国科学院金属研究所
- Current Assignee Address: 辽宁省沈阳市沈河区文化路72号
- Agency: 沈阳科苑专利商标代理有限公司
- Agent 许宗富; 周秀梅
- Main IPC: C23C14/35
- IPC: C23C14/35

Abstract:
本发明涉及一种可提高靶材利用率的磁控溅射靶。由水冷靶材和可移动的磁体组成平面靶或圆柱靶结构;平面靶结构中磁体通过滚动轴承与水冷背板安装在一起,电机通过传动盘驱动金属板和固定其上的磁体一起运动;圆柱靶结构中磁体套在不锈钢管上安装在圆柱靶内,置于冷却水中,并通过连接机构与电机相连。本发明采用了移动磁体技术,通过对普通磁控溅射平面靶和圆柱靶磁体的改进,使其磁体在溅射镀膜过程中能够移动,从而使靶材表面的刻蚀区域更宽,刻蚀更均匀,靶材的利用率有明显的提高,同时保留了磁控溅射工艺的优点,而没有影响其工艺性能;本发明还具有结构简单,性能可靠,易操作等特点,可显著提高靶材的利用率,具有广泛的应用领域。
Public/Granted literature
- CN1296514C 一种可提高靶材利用率的磁控溅射靶 Public/Granted day:2007-01-24
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