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使用金属硬罩幕的双镶嵌制程
Abstract:
一种使用金属硬罩幕的双镶嵌制程,半导体基底包含有一导线结构、介电分隔层、低介电常数的介电层、金属材质的第一硬罩幕以及第二硬罩幕;于第二硬罩幕中形成第一开口;于第一硬罩幕中形成第二开口,第二开口位于第一开口下方,且第二开口的口径小于第一开口的口径;将未被第一硬罩幕覆盖的介电层去除,直至曝露介电分隔层形成一介层洞;将未被第二硬罩幕覆盖的第一硬罩幕去除;将未被第一硬罩幕覆盖的介电层去除,直至到达一预定深度,于介层洞上方形成一渠沟,介层洞与渠沟构成一双镶嵌开口。具有提升导电层的填充双镶嵌开口的能力。缩短RC延迟时间、减少金属内连线之间的干扰频率,不需另外制作抗反射涂层,使制程简化及制作成本降低。
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