Invention Publication
CN1405877A 在镶嵌制程中形成金属电容器的方法及其产品
失效 - 放弃专利权
- Patent Title: 在镶嵌制程中形成金属电容器的方法及其产品
- Patent Title (English): Method for forming metal capacitor during inlaying process and its product
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Application No.: CN02107409.7Application Date: 2002-03-14
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Publication No.: CN1405877APublication Date: 2003-03-26
- Inventor: 徐震球 , 李世达 , 蔡政翰
- Applicant: 矽统科技股份有限公司
- Applicant Address: 台湾省新竹科学园区
- Assignee: 矽统科技股份有限公司
- Current Assignee: 矽统科技股份有限公司
- Current Assignee Address: 台湾省新竹科学园区
- Agency: 北京三友知识产权代理有限公司
- Agent 刘朝华
- Main IPC: H01L21/82
- IPC: H01L21/82 ; H01L27/04

Abstract:
一种在镶嵌制程中形成金属电容器的方法及其产品,是于形成金属薄膜电容器之前,利用铜金属镶嵌制程来制作其下的内连线;通过沉积第一金属层、绝缘层和第二金属层,并先利用蚀刻定义第二金属层、绝缘层和第一金属层以形成电容器和导线后,再针对第二金属层进行第二次蚀刻,以剥除导线上残留的第二金属层;继续利用铜金属镶嵌制程来制作其上的内连线;并提供一种金属电容器的镶嵌结构。具有降低形成内含电容器的积体电路的制造成本、容易控制制程和电容器具有较佳的电气特性的功效。
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