在镶嵌制程中形成金属电容器的方法及其产品
Abstract:
一种在镶嵌制程中形成金属电容器的方法及其产品,是于形成金属薄膜电容器之前,利用铜金属镶嵌制程来制作其下的内连线;通过沉积第一金属层、绝缘层和第二金属层,并先利用蚀刻定义第二金属层、绝缘层和第一金属层以形成电容器和导线后,再针对第二金属层进行第二次蚀刻,以剥除导线上残留的第二金属层;继续利用铜金属镶嵌制程来制作其上的内连线;并提供一种金属电容器的镶嵌结构。具有降低形成内含电容器的积体电路的制造成本、容易控制制程和电容器具有较佳的电气特性的功效。
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