用于光致抗蚀剂的交联单体,及使用其制备光致抗蚀剂聚合物的方法
Abstract:
本发明揭示一种化学式1的交联单体,使用该单体制备光致抗蚀剂聚合物的方法,及该光致抗蚀剂聚合物。
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