Invention Grant
- Patent Title: 用于光致抗蚀剂的交联单体,及使用其制备光致抗蚀剂聚合物的方法
- Patent Title (English): Cross-linking monomer using for photoresist and process for producing photoresist polymer using the same
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Application No.: CN99126687.0Application Date: 1999-12-24
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Publication No.: CN1303114CPublication Date: 2007-03-07
- Inventor: 郑载昌 , 郑旼镐 , 白基镐 , 孔根圭 , 李根守
- Applicant: 现代电子产业株式会社
- Applicant Address: 韩国京畿道
- Assignee: 现代电子产业株式会社
- Current Assignee: 现代电子产业株式会社
- Current Assignee Address: 韩国京畿道
- Agency: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- Agent 丁业平; 王维玉
- Priority: 63793/98 1998.12.31 KR
- Main IPC: C08F22/10
- IPC: C08F22/10 ; G03F7/039

Abstract:
本发明揭示一种化学式1的交联单体,使用该单体制备光致抗蚀剂聚合物的方法,及该光致抗蚀剂聚合物。
Public/Granted literature
- CN1258670A 用于光致抗蚀剂的交联单体,及使用其制备光致抗蚀剂聚合物的方法 Public/Granted day:2000-07-05
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IPC分类: