本发明涉及一种抗反射涂料组合物，包括以下物质的混合物：a)由以下结构(I)定义的聚合物，其中R1和R2独立地为氢、或C1-C6烷基，R3是甲基、乙基、丙基或丁基，R4-R7独立地为氢、或C1-C5烷基，n＝10-5000；(b)含氟、微水溶性(在水中，0.1-10%重量)有机C3-C13脂族羧酸；(c)非金属氢氧化物；和(d)溶剂。本发明还涉及一种生产该抗反射涂料组合物的方法和一种与光刻胶组合物结合使用该抗反射涂料组合物来生产微电子设备的方法。