一种基于AFM热探针扫描技术的非热敏材料微区界面纯净化方法
Abstract:
本发明公开了一种基于AFM热探针扫描技术的非热敏材料微区界面纯净化方法,本发明是要解决在转移敏感材料及电极材料,制造传感器的过程中,有机聚合物残余引起的敏感材料与电极接触电阻过大的技术问题。本发明以AFM热探针扫描技术为基础,根据AFM热探针释放瞬时热量可以去除聚合物的基本原理,提出了使用热探针扫描技术去除敏感材料表面有机聚合物残余,提高敏感材料与电极材料接触微区界面纯净化方法,实现了敏感材料转移过程中有机聚合物残余的精确去除,达到了微区界面纯净化的目的,进而提高传感器性能。
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