Invention Publication
- Patent Title: 一种基于AFM热探针扫描技术的非热敏材料微区界面纯净化方法
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Application No.: CN202411669186.XApplication Date: 2024-11-21
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Publication No.: CN119549476APublication Date: 2025-03-04
- Inventor: 张甲 , 李松霖 , 梁帅
- Applicant: 哈尔滨工业大学
- Applicant Address: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- Assignee: 哈尔滨工业大学
- Current Assignee: 哈尔滨工业大学
- Current Assignee Address: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- Agency: 北京盛询知识产权代理有限公司
- Agent 耿艳兵
- Main IPC: B08B7/00
- IPC: B08B7/00 ; G01N25/00 ; G01N25/20 ; G01Q60/24 ; G01Q30/10 ; G01Q30/18 ; G01Q30/00 ; B08B13/00

Abstract:
本发明公开了一种基于AFM热探针扫描技术的非热敏材料微区界面纯净化方法,本发明是要解决在转移敏感材料及电极材料,制造传感器的过程中,有机聚合物残余引起的敏感材料与电极接触电阻过大的技术问题。本发明以AFM热探针扫描技术为基础,根据AFM热探针释放瞬时热量可以去除聚合物的基本原理,提出了使用热探针扫描技术去除敏感材料表面有机聚合物残余,提高敏感材料与电极材料接触微区界面纯净化方法,实现了敏感材料转移过程中有机聚合物残余的精确去除,达到了微区界面纯净化的目的,进而提高传感器性能。
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