本发明属于氧化物靶材技术领域，具体公开了一种氧化铟镓钛靶材及其制备方法和应用。本发明的氧化铟镓钛靶材的制备原料按质量份数计包括氧化铟95～99份、氧化镓0.5～2份和二氧化钛0.6～3份。本发明通过在氧化铟基靶材中掺杂合适比例的氧化镓和二氧化钛，可以在保持靶材相对较低的电阻率的前提下，使该靶材制备的氧化物薄膜具备优异的透光性，并且该靶材制备的氧化物薄膜具备较好的机械柔韧性，可以更好地应用于柔性OLEDs。本发明还提供该氧化铟镓钛靶材的制备方法。