半导体结构的制备方法、半导体结构、存储器及电子设备
Abstract:
本申请实施例提供了一种半导体结构的制备方法、半导体结构、存储器及电子设备。该半导体结构的制备方法包括:提供一衬底;在衬底的一侧依次形成第一电极层、沟道层和牺牲层;制作替代栅,替代栅覆盖沟道层的侧壁;制作第一介质层,并去除牺牲层和替代栅,以形成由第一介质层、第一电极层和沟道层围成的容纳腔;在第一电极层远离衬底的一侧制作栅极层,栅极层位于容纳腔内,栅极层环设在沟道层的外周,且分别与第一电极层和沟道层绝缘;在沟道层远离衬底的一侧制作第二电极层,第二电极层与栅极层绝缘。本申请实施例无需通过光刻工艺即可方便地制作栅极层,可以持续对存储器结构进行微缩。
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