Invention Publication
- Patent Title: 半导体结构的制备方法、半导体结构、存储器及电子设备
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Application No.: CN202310636699.XApplication Date: 2023-05-31
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Publication No.: CN119069352APublication Date: 2024-12-03
- Inventor: 胡琪 , 董博闻 , 李辉辉 , 李庚霏 , 张云森 , 王桂磊 , 赵超
- Applicant: 北京超弦存储器研究院
- Applicant Address: 北京市大兴区北京经济技术开发区景园北街52幢5层501-12
- Assignee: 北京超弦存储器研究院
- Current Assignee: 北京超弦存储器研究院
- Current Assignee Address: 北京市大兴区北京经济技术开发区景园北街52幢5层501-12
- Agency: 北京市立方律师事务所
- Agent 王存霞
- Main IPC: H01L21/336
- IPC: H01L21/336 ; H01L29/10 ; H01L29/78 ; H10B12/00 ; H10B61/00 ; H10B10/00

Abstract:
本申请实施例提供了一种半导体结构的制备方法、半导体结构、存储器及电子设备。该半导体结构的制备方法包括:提供一衬底;在衬底的一侧依次形成第一电极层、沟道层和牺牲层;制作替代栅,替代栅覆盖沟道层的侧壁;制作第一介质层,并去除牺牲层和替代栅,以形成由第一介质层、第一电极层和沟道层围成的容纳腔;在第一电极层远离衬底的一侧制作栅极层,栅极层位于容纳腔内,栅极层环设在沟道层的外周,且分别与第一电极层和沟道层绝缘;在沟道层远离衬底的一侧制作第二电极层,第二电极层与栅极层绝缘。本申请实施例无需通过光刻工艺即可方便地制作栅极层,可以持续对存储器结构进行微缩。
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