- 专利标题: 一种异质芯片封装方法和结构
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申请号: CN202411047827.8申请日: 2024-07-31
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公开(公告)号: CN118983273A公开(公告)日: 2024-11-19
- 发明人: 陶玉娟 , 朱秋昀
- 申请人: 通富微电子股份有限公司
- 申请人地址: 江苏省南通市崇川路288号
- 专利权人: 通富微电子股份有限公司
- 当前专利权人: 通富微电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省南通市崇川路288号
- 代理机构: 北京中知法苑知识产权代理有限公司11226专利代理师李明
- 主分类号: H01L21/768
- IPC分类号: H01L21/768 ; H10B80/00 ; H01L23/538
摘要:
本公开的实施例提供一种异质芯片封装方法和结构。方法包括:提供带凹槽的基板、载板、硅桥、预先封装的芯片单元和异质芯片;其中,异质芯片包括第一芯片和第二芯片;将带凹槽的基板固定设置于载板,并将硅桥设置于基板的凹槽内;将第一芯片和第二芯片的正面设置于基板和硅桥,使第一芯片和第二芯片固定于基板并通过硅桥相互电连接;在基板的凹槽内填充底填胶,在基板上形成塑封层,并在塑封层中分别形成与基板和硅桥电连接的塑封通孔,再在塑封层背离基板的一面形成重布线层;将芯片单元堆叠设置于重布线层,使芯片单元通过塑封通孔与基板以及异质芯片相互电连接。本公开的实施例达成了全方位的高效数据流通,保持了对位精度和稳定性。
IPC分类: