本申请涉及一种单晶压电衬底结构，包括：单晶压电层、氧化层和支撑衬底层；氧化层设置于支撑衬底层的一侧表面上；单晶压电层设置于氧化层远离支撑衬底层的一侧表面上；单晶压电层为旋转Y切压电晶体，单晶压电层的欧拉角的进动角为0,章动角的为θ±n*180°,旋进角为0，θ的取值范围为‑90°～+90°，n为正整数。本申请通过将旋转Y切压电晶体作为单晶压电衬底结构的中的单晶压电层，利用旋转Y切压电晶体的材料特性，以及单晶压电层通过氧化层与支撑衬底层的结合，能够有效实现声波或光波能量的局域化，不仅提高了器件的性能，还有助于实现器件的小型化和集成化，满足了现代通信系统对高性能、低功耗和高集成度的需求。