发明公开
- 专利标题: 基于图像处理的磷化铟晶体杂质检测方法及系统
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申请号: CN202411281153.8申请日: 2024-09-13
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公开(公告)号: CN118794976A公开(公告)日: 2024-10-18
- 发明人: 肖迪 , 肖燕青 , 郑东 , 赵俊竹 , 戴磊
- 申请人: 青岛华芯晶电科技有限公司 , 青岛立昂晶电半导体科技有限公司
- 申请人地址: 山东省青岛市高新区河东路383号;
- 专利权人: 青岛华芯晶电科技有限公司,青岛立昂晶电半导体科技有限公司
- 当前专利权人: 青岛华芯晶电科技有限公司,青岛立昂晶电半导体科技有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省青岛市高新区河东路383号;
- 代理机构: 北京铭创聚诚知识产权代理有限公司
- 代理商 龙烁
- 主分类号: G01N23/2251
- IPC分类号: G01N23/2251 ; G06T7/00 ; G06V10/764
摘要:
本发明涉及晶体杂质检测技术领域,尤其涉及基于图像处理的磷化铟晶体杂质检测方法及系统,本发明将杂质分布特征数据导入杂质分布差异分析模型中,对磷化铟晶体的杂质分布差异进行分析;将杂质分布差异分析结果和生产流程控制数据导入生产流程差异分析模型中,对磷化铟晶体生产流程差异进行分析;将生产流程差异分析结果导入生产流程优化模型中对磷化铟晶体的生产流程进行优化;根据磷化铟晶体的生产流程优化结果,对磷化铟晶体生长产线的生产参数进行调整。通过根据不同杂质类别的特点,能够有针对性地优化晶体生长的生产参数,既能保证生产的高效性,又能最大化减少特定杂质的生成,从而提高磷化铟晶体的纯度和性能。