本发明在半导体加工领域提出射频电源的输出功率控制方法和系统，包括：可编程逻辑控制器将射频电源安装成功时触发的安装反馈电信号转化为第一安装通信信息通过数据通信网络发送给上位机，供上位机根据第一安装通信信息通过可编程逻辑控制器启动射频电源和修改射频控制器的控制程序；射频控制器根据启动的射频电源馈送的射频反馈电信号转化为射频反馈信息通过数据通信网络发送给上位机，供上位机根据射频反馈信息通过射频控制器改变射频电源的输出功率，直至输出功率满足等离子处理装置的工艺参数对应期望条件。在射频电源安装成功后自动同步射频控制器中的内容实现对所有射频电源的集体控制，保证拓展性。