本发明涉及晶圆键合领域，提供了一种晶圆临时键合装置，包括：第一载盘、第二载盘、第一壳体、第二壳体、第一移动机构和对准机构；第一壳体与第二壳体对应设置，第一移动机构与第一壳体连接，第一移动机构用于带动第一壳体移动，第一壳体和第二壳体用于形成密闭腔体；第一载盘和第二载盘相对且平行设置，第一载盘设置于第一壳体，第二载盘设置于第二壳体；对准机构对应第二壳体设置，对准机构用于测量第二键合片与第一键合片的位置偏差和角度偏差，并用于调整第二键合片相对于第一键合片的位置和角度。本发明的晶圆临时键合装置，用以精确调整晶圆键合时第二键合片和第一键合片位置、保证晶圆键合的位置精度和良率。