一种刺晶设备
摘要:
本发明公开一种刺晶设备,涉及芯片巨量转移的技术领域,其中,该刺晶设备中,第一支撑梁固定设置于基台,刺晶机构包括第一传动装置以及第二传动装置,第一传动装置可沿X轴往复方向运动地安装于第一支撑梁,第二传动装置设置有刺晶头,刺晶头通过第二传动装置可活动地安装于第一传动装置,并可沿X轴方向以及Z轴方向相对第一传动装置往复运动,第二支撑梁可沿Y轴方向往复运动地设置于基台,第二支撑梁与第一支撑梁间隔位于支撑台面之上,晶圆膜载台,可沿X轴方向往复运动地安装于第二支撑梁,基板载台基板载台可沿Y轴方向沿支撑台面往复运动,达到减少单个刺晶动作的时间,实现芯片在基板焊点上的准确移栽,提升整体的刺晶频率的目的。
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