发明授权
- 专利标题: 一种刺晶设备
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申请号: CN202411172310.1申请日: 2024-08-26
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公开(公告)号: CN118692968B公开(公告)日: 2024-10-29
- 发明人: 于久宝 , 陈高强 , 江敏 , 罗玉兵 , 陈万群 , 王正根
- 申请人: 迈为技术(珠海)有限公司
- 申请人地址: 广东省珠海市高新区唐家湾镇金唐路1号港湾1号科创园24栋C区1层377室(集中办公区)
- 专利权人: 迈为技术(珠海)有限公司
- 当前专利权人: 迈为技术(珠海)有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省珠海市高新区唐家湾镇金唐路1号港湾1号科创园24栋C区1层377室(集中办公区)
- 代理机构: 北京泽方誉航专利代理事务所
- 代理商 陈国靖
- 主分类号: H01L21/677
- IPC分类号: H01L21/677 ; H01L21/67 ; H01L33/48 ; G03F7/20
摘要:
本发明公开一种刺晶设备,涉及芯片巨量转移的技术领域,其中,该刺晶设备中,第一支撑梁固定设置于基台,刺晶机构包括第一传动装置以及第二传动装置,第一传动装置可沿X轴往复方向运动地安装于第一支撑梁,第二传动装置设置有刺晶头,刺晶头通过第二传动装置可活动地安装于第一传动装置,并可沿X轴方向以及Z轴方向相对第一传动装置往复运动,第二支撑梁可沿Y轴方向往复运动地设置于基台,第二支撑梁与第一支撑梁间隔位于支撑台面之上,晶圆膜载台,可沿X轴方向往复运动地安装于第二支撑梁,基板载台基板载台可沿Y轴方向沿支撑台面往复运动,达到减少单个刺晶动作的时间,实现芯片在基板焊点上的准确移栽,提升整体的刺晶频率的目的。
公开/授权文献
- CN118692968A 一种刺晶设备 公开/授权日:2024-09-24
IPC分类: