一种适用于高温有氧环境下的SiBCN陶瓷传感器及其制备方法
摘要:
本发明提供了一种适用于高温有氧环境下的SiBCN陶瓷传感器及其制备方法,属于传感器技术领域,所述适用于高温有氧环境下的SiBCN陶瓷传感器为敏感元表面包覆有涂层的SiBCN陶瓷传感器;所述涂层包含SiBCN、ZrO2、SiO2和BN。本发明提供的适用于高温有氧环境下的SiBCN陶瓷传感器高温抗氧化性能优异、测温范围广(室温~1200℃)、耐氧腐蚀性能好,可应用于1200℃有氧环境的温度测量,解决了现有SiBCN传感器使用温度均低于1000℃,无法满足高温有氧环境的使用需求的问题。
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