发明公开
- 专利标题: 一种适用于高温有氧环境下的SiBCN陶瓷传感器及其制备方法
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申请号: CN202410696127.5申请日: 2024-05-31
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公开(公告)号: CN118624048A公开(公告)日: 2024-09-10
- 发明人: 严强 , 李金平 , 石皓帆 , 陈思尧 , 易法军 , 许承海 , 杨强 , 孟松鹤
- 申请人: 哈尔滨工业大学
- 申请人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 代理机构: 北京格允知识产权代理有限公司
- 代理商 刘晓
- 主分类号: G01K7/16
- IPC分类号: G01K7/16 ; C09D183/16 ; C09D7/61
摘要:
本发明提供了一种适用于高温有氧环境下的SiBCN陶瓷传感器及其制备方法,属于传感器技术领域,所述适用于高温有氧环境下的SiBCN陶瓷传感器为敏感元表面包覆有涂层的SiBCN陶瓷传感器;所述涂层包含SiBCN、ZrO2、SiO2和BN。本发明提供的适用于高温有氧环境下的SiBCN陶瓷传感器高温抗氧化性能优异、测温范围广(室温~1200℃)、耐氧腐蚀性能好,可应用于1200℃有氧环境的温度测量,解决了现有SiBCN传感器使用温度均低于1000℃,无法满足高温有氧环境的使用需求的问题。