本发明适用于无线通讯技术领域，尤其涉及一种叉指换能器及其制备方法、声表面滤波器。包括以下步骤：对晶圆进行两次均胶和两次坚膜处理、进行曝光处理、旋涂显影液、镀膜处理、对光刻胶进行剥离，得到叉指换能器。与现有技术相比，本发明通过对晶圆涂抹两层光刻胶，由于两层光刻胶的物理性质存在差异，从而在后续的旋涂显影液过程中，顶层光刻胶要比底层的光刻胶剩余结构会更多，形成类似T型结构的光刻胶，使得在对晶圆进行镀膜时，金属膜会与底层的光刻胶之间形成空隙，有效避免了光刻胶附着于金属膜的周边，造成不完全剥离的现象，有效提高了叉指换能器及其声表面滤波器的电性能和可靠性。