- 专利标题: 一种逆阻型门极换流晶闸管RB-GCT器件波状终端结构及其制造方法
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申请号: CN202410707484.7申请日: 2024-06-03
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公开(公告)号: CN118472012A公开(公告)日: 2024-08-09
- 发明人: 张磊 , 徐玲铃 , 姚德贵 , 董曼玲 , 张国华 , 魏卓 , 鲁一苇 , 肖超 , 高晟辅 , 陈黄鹂 , 张刚琦 , 纪卫峰 , 刘亿铭 , 王国卫 , 刘峰 , 胡茜 , 梁旭辉
- 申请人: 西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司 , 国网河南省电力公司电力科学研究院 , 国家电网有限公司直流技术中心
- 申请人地址: 陕西省西安市高新区新区锦业二路东段; ;
- 专利权人: 西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司,国网河南省电力公司电力科学研究院,国家电网有限公司直流技术中心
- 当前专利权人: 西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司,国网河南省电力公司电力科学研究院,国家电网有限公司直流技术中心
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市高新区新区锦业二路东段; ;
- 代理机构: 北京维一知享知识产权代理有限公司
- 代理商 杨壮
- 主分类号: H01L29/06
- IPC分类号: H01L29/06 ; H01L29/745 ; H01L29/747 ; H01L21/332
摘要:
本发明提供了一种逆阻型门极换流晶闸管RB‑GCT器件波状终端结构及其制造方法,在有源区,从上往下依次设置有阴极铝层和门极铝层、阴极N+区、阴极P区、阴极P‑区、N‑基区、阳极P‑区、阳极P+区和阳极铝层。在终端区,阳、阴极设置有钝化层、浅沟槽、终端P‑区及N‑基区。在终端边缘处设置有N型截止环。本发明还公开了上述GCT终端结构的制造方法,先预沉积铝,然后在终端区选择性挖槽,腐蚀掉部分高浓度铝杂质,最后进行高温扩散形成。本发明的波状P区终端结构,正、反向阻断的终端电压效率比常规负斜角终端分别高了6.47%和5.26%,且阳、阴极终端与有源区同时形成,工艺简单,制造成本低,该波状P区终端结构广泛适用于深结类的电力半导体器件。
IPC分类: