发明公开
CN118451528A 微型混合电子束柱
审中-公开
- 专利标题： 微型混合电子束柱
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申请号： CN202380014599.1申请日： 2023-03-21
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公开(公告)号： CN118451528A公开(公告)日： 2024-08-06
- 发明人: L·穆劳伊 , J·格尔林 , J·斯帕拉斯 , A·布罗迪
- 申请人： 科磊股份有限公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 科磊股份有限公司
- 当前专利权人： 科磊股份有限公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- 代理商 刘丽楠
- 优先权： 17/658,637 20220408 US
- 国际申请： PCT/US2023/015842 2023.03.21
- 国际公布： WO2023/196115 EN 2023.10.12
- 进入国家日期： 2024-05-20
- 主分类号： H01J37/141
- IPC分类号： H01J37/141 ; H01J37/06 ; H01J37/244 ; H01J37/28
摘要：
一种与静磁透镜组合以产生非常高性能的微型电子束或离子束柱的微型电子束柱。硅基电子光学组件提供关键光学元件的高准确度形成及对准，且所述磁透镜提供低像差聚焦或聚光元件。所述硅及磁组件的准确组装可经由多层组装技术实现，且允许实现高性能。
