固体摄像装置、形状测定装置和形状测定方法
摘要:
固体摄像装置(5A)具备第1受光部(10)和第2受光部(20A、20B)。第1受光部(10)沿着x方向排列有多个像素对(11)。第2受光部(20A、20B)分别沿着y方向排列有各自产生与受光量对应的量的电荷的多个像素(21)。各像素对(11)包括第1像素(12)和第2像素(13)。在沿x方向延伸的线状的光入射于第1受光部(10)时,随着该光入射位置从y方向的一侧向另一侧,第1像素(12)产生的电荷的量逐渐减少,第2像素(13)产生的电荷的量逐渐增加。由此,实现在用于利用光切断法的形状测定的情况下能够进行光学设定状态的评价和调整的固体摄像装置。
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