线性马达、定位装置、处理装置及器件制造方法
摘要:
本发明提供一种能够提高刚性的线性马达等。线性马达具备:多个三相线圈组(41~45),其直线状排列,并且根据流过的三相交流电而产生沿着排列方向的直线动力;及线圈间加固部件(51~54),设置于多个三相线圈组(41~45)之间。线圈间加固部件(51~54)的沿着排列方向的宽度换算成三相交流电的电角等于60度,在经由线圈间加固部件(51)在排列方向上相邻且流过相互反相位的三相交流电的两个三相线圈组(41、42)中,在第1三相线圈组(41)中成为U相线圈、V相线圈及W相线圈的排列顺序,而在第2三相线圈组(42)中则成为V相线圈、W相线圈及U相线圈的排列顺序。
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