提高光刻胶填充性和显影、清洗效果的装置及其使用方法
摘要:
本发明提供一种提高光刻胶填充性和显影、清洗效果的装置,包括晶圆承载台,其用于对晶圆光刻过程中的吸附或解吸附;超声波振动装置,其包括超声振子、超声电源和主轴,用于在晶圆上旋涂光刻胶、显影或清洗时,将超声电源产生的超声波频信号通过主轴传输至超声振子,超声振子带动光刻胶、显影液或清洗液形成机械振动;控制器,其用于控制晶圆的吸附或解吸附,以及超声频信号的预设程式,预设程式包括时间和频率的参数设置。本发明能够提高光刻胶的填充性和减少图形负载,尤其对于高深宽比图形效果更佳;使显影液与光酸更加充分反应,尤其是高深宽比区域,提高显影效果;使清洗液与晶圆表面充分接触,使清洗更充分,减少缺陷。
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