本发明公开了一种预应力增强的Si3N4陶瓷基板的制备方法，具体步骤如下：将Si3N4原料分成两研磨两种不同粒径；将金属氧化烧结助剂与一种Si3N4混合，制成Si3N4陶瓷基片；Si3N4陶瓷基片上冲压细孔阵列；带孔Si3N4陶瓷基片上表面铺设金属网；将金属氧化烧结助剂与另一种Si3N4混合，在一个模具盒内底部铺设在Si3N4陶瓷基片，依次完成多块铺设金属网的Si3N4陶瓷基片的叠加，烧结制成增强的Si3N4陶瓷基板，采用上述备方法制成预应力增强的Si3N4陶瓷基板。本发明使得Si3N4陶瓷基片整体强度进一步变大，由于成叠形成基板，极大降低裂纹以及裂痕的出现。设置的金属网增加了预应力，再加混合料B形成包覆，增强设计，使得Si3N4陶瓷基片强度提高一倍以上，检测弯曲强度可高达700‑800MPa，可实现量产化。