Invention Publication
- Patent Title: 一种双层嵌套光路调整隔振装置
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Application No.: CN202410209555.0Application Date: 2024-02-26
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Publication No.: CN117948366APublication Date: 2024-04-30
- Inventor: 齐威 , 齐月静 , 苏佳妮 , 马敬
- Applicant: 中国科学院微电子研究所
- Applicant Address: 北京市朝阳区北土城西路3号
- Assignee: 中国科学院微电子研究所
- Current Assignee: 中国科学院微电子研究所
- Current Assignee Address: 北京市朝阳区北土城西路3号
- Agency: 北京八月瓜知识产权代理有限公司
- Agent 张夏
- Main IPC: F16F3/04
- IPC: F16F3/04 ; F16F15/067 ; H05K7/20

Abstract:
本发明提供了一种双层嵌套光路调整隔振装置,包括上层结构、下层结构和减振座,在上层结构的下表面设有转盘,在上层结构的左右两侧分别设有第一连接板;在下层结构上设有与转盘相适配的转盘凹槽,上层结构安装于下层结构上,以使转盘可转动的嵌套于转盘凹槽内;在下层结构的左右两侧分别设有与第一连接板相对应的第二连接板,在第一连接板上螺纹连接有调节螺钉,调节螺钉的末端能够与对应的第二连接板相抵触;下层结构安装于减振座上。本发明提供的双层嵌套光路调整隔振装置,能够实现光路的高精度对位,达到降低整体光路质心的目的,增加了光路的稳定性,解决了振动干扰问题。
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