一种无栅聚焦束离子源
摘要:
本发明属于等离子体技术领域,具体涉及一种无栅聚焦束离子源,包括底板、底板上的筒状外壳、筒状外壳中间设置的阳极、上磁靴和下磁靴,所述筒状外壳为中空的水冷外壳,所述阳极和上磁靴均为异形圆环,中间穿设置有异形中心磁靴,中心磁靴的下部设置有工作气体导入装置,阳极的下方设置有环状的水冷装置,水冷装置外周设置有圆环形的永磁铁,永磁铁的下方、外壳内设置有起支撑和导磁作用的下磁靴,水冷外壳、工作气体导入装置和水冷装置的下部经下磁靴穿出底板,所述阳极上方设置有上磁靴。本发明能长期稳定工作,有效提升工作气体利用率和离子束引出均匀性,同时结构简单,适用广泛。
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