本申请公开了一种检测窗口确定方法及装置，其中，检测窗口应用于CMP终点检测中，方法包括：获取终点检测曲线；对终点检测曲线进行分段拟合，根据分段拟合结果确定检测窗口的高度；根据终点检测曲线中斜率等于0的时间点划分不同的斜率阶段；利用斜率阶段中各时间点的斜率计算斜率阶段的平均斜率，根据斜率阶段的平均斜率确定对应斜率阶段的检测窗口的类型，利用检测窗口的高度和斜率阶段的平均斜率确定对应斜率阶段的检测窗口的宽度。本申请公开的上述技术方案，基于终点检测曲线预测确定CMP终点检测中检测窗口的大小和类型，从而提高CMP终点检测中检测窗口设定的准确性，以提高工艺控制能力和产品良率，并提高检测窗口设定效率。