一种柔性导光臂全息扫描检测装置
摘要:
本发明涉及光学扫描检测领域,涉及一种柔性导光臂全息扫描检测装置,包括:用于支撑的底座、导光臂、干涉装置以及外置导轨组,光线从底座的进光口射入,进入导光臂,进入反光镜组件的光线通过平面反光镜19的反射从出光通道15射出;光线进入干涉装置,物光和参考光在相机处形成干涉,外接计算机处理图像,最后即可获取物体形貌,完成扫描;在扫描图像时,通过外置导轨组移动干涉装置。与现有技术相比,本发明具有结构简单、紧凑、能实现X、Y、Z三个平面的自由度等优点。
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