发明公开
- 专利标题: 一种柔性导光臂全息扫描检测装置
-
申请号: CN202311727390.8申请日: 2023-12-15
-
公开(公告)号: CN117804388A公开(公告)日: 2024-04-02
- 发明人: 李宸阳 , 周文静 , 崔泽 , 关赢 , 葛洲
- 申请人: 上海大学
- 申请人地址: 上海市宝山区上大路99号
- 专利权人: 上海大学
- 当前专利权人: 上海大学
- 当前专利权人地址: 上海市宝山区上大路99号
- 代理机构: 上海科盛知识产权代理有限公司
- 代理商 王颖
- 主分类号: G01B11/30
- IPC分类号: G01B11/30 ; G02B7/18 ; G03H1/00 ; G01B11/24 ; G01B9/02
摘要:
本发明涉及光学扫描检测领域,涉及一种柔性导光臂全息扫描检测装置,包括:用于支撑的底座、导光臂、干涉装置以及外置导轨组,光线从底座的进光口射入,进入导光臂,进入反光镜组件的光线通过平面反光镜19的反射从出光通道15射出;光线进入干涉装置,物光和参考光在相机处形成干涉,外接计算机处理图像,最后即可获取物体形貌,完成扫描;在扫描图像时,通过外置导轨组移动干涉装置。与现有技术相比,本发明具有结构简单、紧凑、能实现X、Y、Z三个平面的自由度等优点。