本发明公开了一种用于EL测试系统的稳定且无损的外延片电性能测试装置及方法，包括电流源、与电流源连接的P极测试探针和N极测试电极；P极测试探针为可伸缩式P极测试探针，包括壳体，壳体内安装有导电弹簧，弹簧一端固定在壳体顶端并通过导线连接电流源，另一端连接P极测试电极，P极测试电极通过马达控制移动直接接触待测外延片表面；N极测试电极为柔性导电材质制成的环形N极测试电极，环形N极测试电极包覆在外延片侧壁裸露的N层上并通过导线连接电流源。通过装置进行测试的EL结果稳定、可靠，经过验证可作为判定外延片性能的标准，可以取消快测流程，缩短在制周期，避免异常发现不及时，并可准确赋以每片外延片电性等级。