发明公开
- 专利标题: 一种碱抛光常温后碱洗方法及碱洗液
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申请号: CN202310948178.8申请日: 2023-07-31
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公开(公告)号: CN117625323A公开(公告)日: 2024-03-01
- 发明人: 石健僖 , 王旭 , 王奎 , 钱帅
- 申请人: 徐州谷阳新能源科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省徐州市邳州市高新技术产业开发区滨湖大道南、香山路西
- 专利权人: 徐州谷阳新能源科技有限公司
- 当前专利权人: 徐州谷阳新能源科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省徐州市邳州市高新技术产业开发区滨湖大道南、香山路西
- 代理机构: 江苏圣典律师事务所
- 代理商 徐晓鹭
- 主分类号: C11D7/06
- IPC分类号: C11D7/06 ; C11D7/04 ; H01L31/18 ; H01L21/02
摘要:
本发明公布一种碱抛光常温后碱洗方法及碱洗液,所述碱洗液包含:初配碱洗液包含:氢氧化钠、双氧水以及纯水;清洗设定时长后再向初配碱洗液中加入少量的氢氧化钠、双氧水以及纯水。采用该碱洗液对太阳能电池片进行碱洗,所述碱洗方法包含以下步骤:采用初配碱洗液在温度25℃条件下对太阳能电池片进行碱洗,时间为120秒,结束该组电池片碱洗;再向初配碱洗液中加入少量的氢氧化钠、双氧水以及纯水对下一组太阳能电池片进行碱洗。该工艺能够解决双氧水常温较高温难分解的问题,使槽内有足够化学品清洗硅片表面的脏污残留;并且能够大大降低化学品耗量,如氢氧化钠或氢氧化钾、双氧水。