本发明公开了一种晶圆双面抛光机的太阳轮调节装置，包括太阳轮、游星轮组以及齿圈，还包括外壳、驱动座以及移动件，其中，所述外壳与所述齿圈限位连接，所述驱动座固定设置在所述外壳上，所述移动件滑动设置在所述驱动座且与所述太阳轮固定连接，所述驱动座内部开设有多个环槽，且相邻两个环槽之间开设有缺口，所述缺口处设置有导向机构，所述导向机构能够将多个所述环槽连通使其形成螺旋通道，所述移动件外部固定设置有导块，所述导块能够沿所述螺旋通道滑动。