- 专利标题： 套刻误差量测的方法、装置、系统及存储介质
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申请号： CN202311597002.9申请日： 2023-11-27
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公开(公告)号： CN117518736B公开(公告)日： 2024-08-23
- 发明人: 王志文 , 张奇 , 温任华
- 申请人： 魅杰光电科技(上海)有限公司
- 申请人地址： 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区海洋一路333号1号楼、2号楼
- 专利权人： 魅杰光电科技(上海)有限公司
- 当前专利权人： 魅杰光电科技(上海)有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区海洋一路333号1号楼、2号楼
- 代理机构： 北京清大紫荆知识产权代理有限公司
- 代理商 赵然
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; G03F9/00
摘要：
本申请提供一种套刻误差量测的方法、装置、系统及存储介质，其中套刻误差量测的方法包括：采用套刻标识模板，在待量测图上匹配获取定位匹配图形；将定位匹配图形进行分割获得标记位置及两相邻区域；计算两相邻区域图像的相关性系数，相关性系数代表两相邻区域的相似度；若相关性系数满足预设阈值，则根据套刻标识对应标记位置来确定套刻误差。本说明书实施例套刻误差量测的方法建模流程简单，且提升量测的准确性和稳定性。
公开/授权文献
- CN117518736A 套刻误差量测的方法、装置、系统及存储介质 公开/授权日：2024-02-06
IPC分类:
