本发明涉及半导体器件领域，公开了一种共烧型多层压电致动器，包括：多个层叠的压电陶瓷层；介于相邻压电陶瓷层间的内电极；与内电极处于同一平面的电极缺失区；与内电极电连接的外电极。电极缺失区包括压应力形成区，和介于内电极与压应力形成区之间的间隔区；相邻压应力形成区位于压电陶瓷层的不同边角处，位于同一边角处的压应力形成区的边长沿纵向先递增后递减或相反；位于同一边角处的相邻间隔区在垂直于纵向的平面上的投影呈无重合的错位分布。本发明通过压应力形成区可减缓内电极边缘的压电陶瓷的内应力，从而提高多层压电致动器的性能和使用寿命。同时本发明通过压应力形成区的错位设计，进一步减缓了多层堆叠的厚度差异积累问题。