芯片、制备方法及电子设备
摘要:
本申请公开了芯片、制备方法及电子设备,包括:衬底以及设置于衬底上的晶体管。晶体管包括:沟道结构、阻挡层、栅极、源极以及漏极。沟道结构包括沟道区和离子注入区,阻挡层设置于沟道结构背离衬底的一侧,栅极设置于阻挡层背离沟道结构的一侧,源极设置于沟道结构背离衬底的一侧,漏极设置于沟道结构背离衬底的一侧。源极设置于沟道区背离离子注入区的一侧,漏极覆盖离子注入区的至少部分区域。以及,栅极分别与沟道结构、源极以及漏极电性绝缘。本申请实施例中,源极的材料为狄拉克材料,具有更局域的电子密度分布和更短的热尾,即可降低器件的SS数值,提升器件的开态电流。
0/0