发明公开
- 专利标题: 芯片、制备方法及电子设备
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申请号: CN202210754260.2申请日: 2022-06-28
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公开(公告)号: CN117352514A公开(公告)日: 2024-01-05
- 发明人: 陆叶 , 袁保卫 , 万景 , 侯朝昭 , 王嘉乐 , 张强 , 董耀旗 , 许俊豪
- 申请人: 华为技术有限公司 , 复旦大学
- 申请人地址: 广东省深圳市龙岗区坂田华为总部办公楼
- 专利权人: 华为技术有限公司,复旦大学
- 当前专利权人: 华为技术有限公司,复旦大学
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市龙岗区坂田华为总部办公楼
- 代理机构: 北京同达信恒知识产权代理有限公司
- 代理商 朱琳琳
- 主分类号: H01L27/12
- IPC分类号: H01L27/12 ; H01L21/84
摘要:
本申请公开了芯片、制备方法及电子设备,包括:衬底以及设置于衬底上的晶体管。晶体管包括:沟道结构、阻挡层、栅极、源极以及漏极。沟道结构包括沟道区和离子注入区,阻挡层设置于沟道结构背离衬底的一侧,栅极设置于阻挡层背离沟道结构的一侧,源极设置于沟道结构背离衬底的一侧,漏极设置于沟道结构背离衬底的一侧。源极设置于沟道区背离离子注入区的一侧,漏极覆盖离子注入区的至少部分区域。以及,栅极分别与沟道结构、源极以及漏极电性绝缘。本申请实施例中,源极的材料为狄拉克材料,具有更局域的电子密度分布和更短的热尾,即可降低器件的SS数值,提升器件的开态电流。
IPC分类: