本发明公开了一种高效异质结太阳能电池片及其制备方法、光伏组件，属于异质结电池技术领域，包括硅基体，其正背面均设置有本征非晶硅层、掺杂层、透明导电薄膜层和金属电极；透明导电薄膜层包括第一薄膜区域和第二薄膜区域，第一薄膜区域的载流子浓度小于第二薄膜区域的载流子浓度，第一薄膜区域的透过率大于第二薄膜区域的透过率，且第一薄膜区域的功函数与第二薄膜区域的不同。在透明导电薄膜上设置第一薄膜区域和第二薄膜区域，并控制第二薄膜区域和第一薄膜区域的载流子浓度、透过率和功函数，在降低透明导电薄膜与金属的接触电阻的同时，不影响见光区域透明导电薄膜的性质，从而提升电池的填充因子，达到提升电池转换效率的目的。