发明公开
CN116964408A 形状测定装置
审中-公开
- 专利标题: 形状测定装置
-
申请号: CN202280019054.5申请日: 2022-01-13
-
公开(公告)号: CN116964408A公开(公告)日: 2023-10-27
- 发明人: 内田圭祐 , 宅见宗则 , 加藤尚明
- 申请人: 浜松光子学株式会社
- 申请人地址: 日本静冈县
- 专利权人: 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人: 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人地址: 日本静冈县
- 代理机构: 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理商 杨琦
- 优先权: 2021-035091 20210305 JP
- 国际申请: PCT/JP2022/000921 2022.01.13
- 国际公布: WO2022/185731 JA 2022.09.09
- 进入国家日期: 2023-09-04
- 主分类号: G01B11/24
- IPC分类号: G01B11/24
摘要:
本公开的形状测定装置(1A)具备光源(2)、照射光学系统(3)、成像光学系统(4)、空间光调制器(5)、聚光光学系统(6)、线性传感器(7)、以及处理部(9A)。照射光学系统(3)使光成为线状而照射于对象物(S)。成像光学系统(4)输入在对象物(S)反射的光而成像。空间光调制器(5)在光调制面设定有一维状的强度调制图案,对输入到光调制面的光进行空间地强度调制而输出。聚光光学系统(6)将从空间光调制器(5)输出的光聚光为线状。线性传感器(7)将由聚光光学系统(6)聚光为线状的光由多个像素受光。处理部(9A)基于强度调制图案和来自线性传感器(7)的输出信号,对线性传感器(7)的多个像素的各个进行利用压缩感测技术的解析。由此,实现能够高精度地再构成对象物的形状的形状测定装置。