- 专利标题: 一种基于椭球面的振镜平面扫描装置和扫描方法
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申请号: CN202311159960.8申请日: 2023-09-11
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公开(公告)号: CN116909014B公开(公告)日: 2023-12-01
- 发明人: 张嘉贺 , 苏航 , 杨勇 , 杨青 , 袁小聪
- 申请人: 之江实验室
- 申请人地址: 浙江省杭州市余杭区中泰街道科创大道之江实验室
- 专利权人: 之江实验室
- 当前专利权人: 之江实验室
- 当前专利权人地址: 浙江省杭州市余杭区中泰街道科创大道之江实验室
- 代理机构: 上海科盛知识产权代理有限公司
- 代理商 蔡彭君
- 主分类号: G02B26/08
- IPC分类号: G02B26/08 ; G02B26/10
摘要:
本发明涉及一种基于椭球面的振镜平面扫描装置和扫描方法,装置中以激光器输出的激光的方向为x轴,第一椭球面反射镜的最长的轴在x轴上,第一椭球面反射镜的远离激光器的第一焦点为原点,水平面上经过原点与x轴垂直的轴为y轴,经过原点垂直于水平面的轴为z轴,第一椭球面反射镜的靠近激光器的第二焦点处设有z轴振镜,第一椭球面反射镜的远离激光器的第一焦点处设有y轴振镜;第二椭球面反射镜的最长的轴在z轴上,第二椭球面反射镜的第三焦点与第一焦点重合,第二椭球面反射镜的第四焦点位于第三焦点z轴方向上的上方,第四焦点处设有转折反射镜。与现有技术相比,本发明具有减少畸变和串扰等优点。
公开/授权文献
- CN116909014A 一种基于椭球面的振镜平面扫描装置和扫描方法 公开/授权日:2023-10-20