Invention Publication
- Patent Title: 铁电存储器及垂直结构晶体管
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Application No.: CN202280003570.9Application Date: 2022-01-18
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Publication No.: CN116803232APublication Date: 2023-09-22
- Inventor: 林琪 , 范人士 , 刘晓真 , 赵思宇 , 丁士成 , 方亦陈 , 卜思童
- Applicant: 华为技术有限公司
- Applicant Address: 广东省深圳市龙岗区坂田华为总部办公楼
- Assignee: 华为技术有限公司
- Current Assignee: 华为技术有限公司
- Current Assignee Address: 广东省深圳市龙岗区坂田华为总部办公楼
- Agency: 北京亿腾知识产权代理事务所
- Agent 陈霁
- International Application: PCT/CN2022/072483 2022.01.18
- International Announcement: WO2023/137582 ZH 2023.07.27
- Date entered country: 2022-10-18
- Main IPC: H10B53/30
- IPC: H10B53/30 ; H01L29/78

Abstract:
本申请提供了一种铁电存储器,包括:衬底;字线,源极线,位线和控制线;在竖直方向上堆叠的第一铁电电容、第一晶体管和第二晶体管;第一铁电电容包括第一电极和第二电极;第二电极在第一铁电电容的下端和/或上端暴露;第一晶体管的第一极与源极线连接,第二极与位线连接,栅极与第二电极接触;第一晶体管的沟道层沿竖直方向设置,第一晶体管的栅极形成第一晶体管的上端和/或下端;第二晶体管的栅极与控制线连接,第二极与位线连接,第一极与第二电极或第一晶体管的栅极接触;第二晶体管的沟道层沿竖直方向设置,第二晶体管的第一极形成第二晶体管的上端或下端。该铁电存储器具有较高的存储密度。
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