铁电存储器及垂直结构晶体管
Abstract:
本申请提供了一种铁电存储器,包括:衬底;字线,源极线,位线和控制线;在竖直方向上堆叠的第一铁电电容、第一晶体管和第二晶体管;第一铁电电容包括第一电极和第二电极;第二电极在第一铁电电容的下端和/或上端暴露;第一晶体管的第一极与源极线连接,第二极与位线连接,栅极与第二电极接触;第一晶体管的沟道层沿竖直方向设置,第一晶体管的栅极形成第一晶体管的上端和/或下端;第二晶体管的栅极与控制线连接,第二极与位线连接,第一极与第二电极或第一晶体管的栅极接触;第二晶体管的沟道层沿竖直方向设置,第二晶体管的第一极形成第二晶体管的上端或下端。该铁电存储器具有较高的存储密度。
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