发明公开
- 专利标题： 用于锂处理设备的清洁材料和处理
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申请号： CN202180086385.6申请日： 2021-11-17
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公开(公告)号： CN116685711A公开(公告)日： 2023-09-01
- 发明人: 塔帕什·查克拉博蒂 , 尼廷·迪帕克 , 普雷纳·桑塔利亚·戈拉迪亚 , 巴扈巴利·S·乌帕德亚 , 奈尔施·奇尔曼奥·巴古 , 苏布拉曼亚·P·赫尔勒 , 维斯韦斯瓦伦·西瓦拉玛克里施南
- 申请人： 应用材料公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- 代理商 徐金国; 吴启超
- 优先权： 63/116,431 20201120 US
- 国际申请： PCT/US2021/059695 2021.11.17
- 国际公布： WO2022/109009 EN 2022.05.27
- 进入国家日期： 2023-06-20
- 主分类号： C23C16/44
- IPC分类号： C23C16/44
摘要：
移除含锂沉积物的示例性方法可包括加热含锂沉积物的表面。该表面可包括氧或氮，并且含锂沉积物可以设置在处理腔室的表面上。这些方法可包括使含锂沉积物的表面与含氢前驱物接触。接触可氢化含锂沉积物的表面。这些方法可包括使含锂沉积物与含氮前驱物接触以形成挥发性副产物。这些方法可包括从处理腔室中排出含锂沉积物的挥发性副产物。
IPC分类:
