- 专利标题： 减薄机砂轮主轴输出功率不确定度的确定方法及设备
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申请号： CN202310645256.7申请日： 2023-06-02
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公开(公告)号： CN116481692B公开(公告)日： 2023-09-08
- 发明人: 周惠言 , 蒋继乐 , 寇明虎
- 申请人： 北京特思迪半导体设备有限公司
- 申请人地址： 北京市顺义区杜杨北街3号院6号楼(顺创)
- 专利权人： 北京特思迪半导体设备有限公司
- 当前专利权人： 北京特思迪半导体设备有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市顺义区杜杨北街3号院6号楼(顺创)
- 主分类号： G01L3/24
- IPC分类号： G01L3/24
摘要：
本发明提供一种减薄机砂轮主轴输出功率不确定度的确定方法及设备，所述方法包括：获取砂轮扭矩和砂轮转速的测量数据；利用所述测量数据，确定砂轮扭矩和转速的相关系数和砂轮转速扭矩共同作用的相对测量不确定度；计算砂轮扭矩相对测量不确定度和砂轮转速相对测量不确定度；利用所述砂轮转速扭矩共同作用的相对测量不确定度、砂轮扭矩相对测量不确定度、砂轮转速相对测量不确定度和相关系数确定减薄机砂轮主轴输出功率的合成标准不确定度。
公开/授权文献
- CN116481692A 减薄机砂轮主轴输出功率不确定度的确定方法及设备 公开/授权日：2023-07-25
