一种基于Boost电路的有源阻抗匹配箱及其调节方法
摘要:
本发明涉及一种基于Boost电路的有源阻抗匹配箱及其调节方法,属于射频电源阻抗匹配技术领域,解决了现有阻抗匹配网络存在的调节速度慢等问题。有源阻抗匹配箱包括全波整流电路、电容、电容、电感、开关管、二极管及控制电路;全波整流电路的输入端连接特征阻抗;全波整流电路的第一输出端分别连接电容的一端、电感的一端;电感的另一端分别连接开关管的漏极、二极管的阳极;二极管的阴极连接电容的一端;全波整流电路的第二输出端分别连接电容的另一端和电容的另一端;开关管的源极接地;控制电路的输出端连接开关管的栅极,以控制有源阻抗匹配箱的等效输入阻抗等于特征阻抗。
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