- 专利标题: 一种基于Boost电路的有源阻抗匹配箱及其调节方法
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申请号: CN202310691842.5申请日: 2023-06-13
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公开(公告)号: CN116455357A公开(公告)日: 2023-07-18
- 发明人: 乐卫平 , 林伟群 , 姚志毅 , 杨佩铮
- 申请人: 深圳市恒运昌真空技术有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101,201,301
- 专利权人: 深圳市恒运昌真空技术有限公司
- 当前专利权人: 深圳市恒运昌真空技术有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101,201,301
- 代理机构: 北京天达知识产权代理事务所有限公司
- 代理商 许志宏
- 主分类号: H03H11/30
- IPC分类号: H03H11/30 ; H02M7/06 ; H02M3/156 ; H02M1/08 ; H01J37/32
摘要:
本发明涉及一种基于Boost电路的有源阻抗匹配箱及其调节方法,属于射频电源阻抗匹配技术领域,解决了现有阻抗匹配网络存在的调节速度慢等问题。有源阻抗匹配箱包括全波整流电路、电容、电容、电感、开关管、二极管及控制电路;全波整流电路的输入端连接特征阻抗;全波整流电路的第一输出端分别连接电容的一端、电感的一端;电感的另一端分别连接开关管的漏极、二极管的阳极;二极管的阴极连接电容的一端;全波整流电路的第二输出端分别连接电容的另一端和电容的另一端;开关管的源极接地;控制电路的输出端连接开关管的栅极,以控制有源阻抗匹配箱的等效输入阻抗等于特征阻抗。
公开/授权文献
- CN116455357B 一种基于Boost电路的有源阻抗匹配箱及其调节方法 公开/授权日:2023-09-05