存储器的形成方法及存储器
Abstract:
本公开提供了一种MRAM存储器的形成方法及MRAM存储器,涉及半导体技术领域,MRAM存储器的形成方法包括:提供硅衬底和多个图案化的复合层,第一沟槽贯穿复合层并延伸至硅衬底内第一深度;形成保护层,保护层在第一沟槽中形成狭缝;基于狭缝在硅衬底内分别形成沟槽,在每个沟槽内分别形成源线;基于狭缝形成隔离层;基于被图案化的复合层形成多个垂直环栅晶体管;在每个垂直环栅晶体管上与漏极连接的金属接触垫上,形成小于金属接触垫的顶面尺寸的底接触电极。在本公开中,通过减少底接触电极与垂直环栅晶体管的接触面积,以能够形成较小面积尺寸的磁性隧道结,相对增大磁性隧道结的密度,提高芯片的存储容量。
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