存储器的形成方法及存储器
摘要:
本公开提供了一种存储器的形成方法及存储器,涉及半导体技术领域,存储器的形成方法包括:提供基底,基底包括硅衬底以及设置在硅衬底上的未图案化的叠层;对叠层进行图案化处理形成多个第一沟槽,以隔离多个存储单元;第一沟槽中形成第一介质层;形成两个相对设置的内凹于硅衬底的侧壁的内凹沟槽;在每个内凹沟槽内分别形成源线,第一沟槽中形成第二介质层;基于被图案化的叠层,形成多个柱状半导体层;形成环绕覆盖在柱状半导体层的侧面的栅极。在本公开中,优先在较深的第一沟槽形成第一介质层,在第一沟槽的形成过程中只需对衬底进行刻蚀,刻蚀环境单一不复杂,降低了工艺难度,且金属杂质更少,提升了半导体的隔离效果。
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