发明公开
- 专利标题: 存储器的形成方法及存储器
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申请号: CN202211166823.2申请日: 2022-09-23
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公开(公告)号: CN116207035A公开(公告)日: 2023-06-02
- 发明人: 李辉辉 , 张云森 , 王桂磊 , 赵超
- 申请人: 北京超弦存储器研究院
- 申请人地址: 北京市大兴区北京经济技术开发区景园北街52幢5层501-12
- 专利权人: 北京超弦存储器研究院
- 当前专利权人: 北京超弦存储器研究院
- 当前专利权人地址: 北京市大兴区北京经济技术开发区景园北街52幢5层501-12
- 代理机构: 北京名华博信知识产权代理有限公司
- 代理商 刘馨月
- 主分类号: H01L21/762
- IPC分类号: H01L21/762 ; H01L27/105 ; H10B99/00 ; G11C16/04
摘要:
本公开提供了一种存储器的形成方法及存储器,涉及半导体技术领域,存储器的形成方法包括:提供基底,基底包括硅衬底以及设置在硅衬底上的未图案化的叠层;对叠层进行图案化处理形成多个第一沟槽,以隔离多个存储单元;第一沟槽中形成第一介质层;形成两个相对设置的内凹于硅衬底的侧壁的内凹沟槽;在每个内凹沟槽内分别形成源线,第一沟槽中形成第二介质层;基于被图案化的叠层,形成多个柱状半导体层;形成环绕覆盖在柱状半导体层的侧面的栅极。在本公开中,优先在较深的第一沟槽形成第一介质层,在第一沟槽的形成过程中只需对衬底进行刻蚀,刻蚀环境单一不复杂,降低了工艺难度,且金属杂质更少,提升了半导体的隔离效果。
公开/授权文献
- CN116207035B 存储器的形成方法及存储器 公开/授权日:2024-02-23
IPC分类: