发明公开
- 专利标题： 传感器站、数据获取方法和基板处理系统
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申请号： CN202211210947.6申请日： 2022-09-30
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公开(公告)号： CN115910854A公开(公告)日： 2023-04-04
- 发明人: 孙相睍 , 徐溶晙 , 蔡洙真 , 安东玉 , 金宰弘
- 申请人： 细美事有限公司
- 申请人地址： 韩国忠清南道
- 专利权人： 细美事有限公司
- 当前专利权人： 细美事有限公司
- 当前专利权人地址： 韩国忠清南道
- 代理机构： 北京市中伦律师事务所
- 代理商 钟锦舜; 童剑雄
- 优先权： 10-2021-0129407 20210930 KR
- 主分类号： H01L21/67
- IPC分类号： H01L21/67 ; H01L21/66
摘要：
本发明构思提供了一种传感器站。所述传感器站包括：主体，所述主体提供用于储存基板型传感器的内部空间；电源单元，所述电源单元安装在所述主体处并且被配置为将电力传输到所述基板型传感器；处理单元，所述处理单元安装在所述主体处并且被配置为处理由所述基板型传感器测量的数据；以及通信单元，所述通信单元安装在所述主体处并且被配置为与所述基板型传感器和基板处理系统的服务器交换数据。
IPC分类:
