发明公开
- 专利标题: 芯片粒精细互连封装结构及其制备方法
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申请号: CN202310226006.X申请日: 2023-03-10
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公开(公告)号: CN115910821A公开(公告)日: 2023-04-04
- 发明人: 向迅 , 胡川 , 燕英强 , 凌云志 , 陈志宽 , 陈志涛
- 申请人: 广东省科学院半导体研究所
- 申请人地址: 广东省广州市天河区长兴路363号
- 专利权人: 广东省科学院半导体研究所
- 当前专利权人: 广东省科学院半导体研究所
- 当前专利权人地址: 广东省广州市天河区长兴路363号
- 代理机构: 北京商专永信知识产权代理事务所
- 代理商 李彬彬
- 主分类号: H01L21/60
- IPC分类号: H01L21/60 ; H01L21/56 ; H01L23/31 ; H01L23/52
摘要:
本发明公开一种芯片粒精细互连封装结构及其制备方法,方法包括在基板的第一侧面上贴装至少二颗芯片,并在芯片的第一表面上制备临时键合层;在基板的第二侧面制备塑封层,其中,基板上制备有微孔,塑封层的塑封材料能够自所述微孔流入至基板的第一侧面与临时键合层之间,以制备形成塑封层;释放临时键合层,并在相邻的两颗芯片的第一引脚阵列上键合用于将相邻的两颗芯片电气连通的硅桥结构;在塑封层上制备积层;在积层上制备焊锡球。本发明提供的方案使得在后续的工艺中,无须去除基板,也无须对塑封层的相应位置进行研磨减薄处理,因而简化了封装的工艺步骤,降低了封装成本。
公开/授权文献
- CN115910821B 芯片粒精细互连封装结构及其制备方法 公开/授权日:2023-06-09
IPC分类: