一种用于流化床反应器的高纯碳化硅内衬的制备方法
摘要:
本发明提供了一种用于流化床反应器的高纯碳化硅内衬的制备方法,包括以下步骤:S1、将设计的陶瓷模型导入3D打印设备中,采用3D打印成型技术将碳化硅粉料逐层成型出所需尺寸的素坯;S2、将所述素坯放置于石墨坩埚中,在素坯周围堆放反应烧结所需的硅原料,在烧结设备中进行反应烧结,冷却得到坯体;S3、将所述坯体置于纯化炉中进行纯化处理,得到碳化硅材料内衬件;S4、将多个内衬件依次拼装得到流化床反应器内衬。本发明突破了大尺寸、多曲面流道结构难以成型的难题,同时解决了碳化硅陶瓷纯度难以提高的问题,得到碳化硅材料内衬件具有高纯度、耐磨损、耐腐蚀、强度高的优点,满足高纯多晶硅流化床反应器内衬的应用需求。
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