一种液相外延YIG晶体生长自动控制设备
摘要:
本发明属于半导体基础材料领域,特别涉及一种液相外延YIG晶体生长自动控制设备,该设备包括:支架、物料放置台、炉体以及籽晶杆结构;支架位于设备的底端,用于支撑整个设备;物料放置台的一端设置在支架内部,另一端设置在炉体的内部;炉体的底部设置在支架顶部,籽晶杆结构设置在炉体的顶部,构成液相外延YIG晶体生长自动控制设备;本发明的设备炉膛采用金属夹层水冷结构,炉膛顶部及底部设计有匹配温场的进出孔径,并设计有T台结构用于进行温场密封,炉体沿母线180度开合,便于温场装卸。
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