发明公开
- 专利标题: 一种液相外延YIG晶体生长自动控制设备
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申请号: CN202211270272.4申请日: 2022-10-18
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公开(公告)号: CN115467015A公开(公告)日: 2022-12-13
- 发明人: 李金 , 武欢 , 陈川贵 , 佘建军 , 李俊 , 陈运茂
- 申请人: 中国电子科技集团公司第二十六研究所
- 申请人地址: 重庆市南岸区花园路14号
- 专利权人: 中国电子科技集团公司第二十六研究所
- 当前专利权人: 中国电子科技集团公司第二十六研究所
- 当前专利权人地址: 重庆市南岸区花园路14号
- 代理机构: 重庆辉腾律师事务所
- 代理商 王海军
- 主分类号: C30B19/06
- IPC分类号: C30B19/06 ; C30B19/08 ; C30B29/28
摘要:
本发明属于半导体基础材料领域,特别涉及一种液相外延YIG晶体生长自动控制设备,该设备包括:支架、物料放置台、炉体以及籽晶杆结构;支架位于设备的底端,用于支撑整个设备;物料放置台的一端设置在支架内部,另一端设置在炉体的内部;炉体的底部设置在支架顶部,籽晶杆结构设置在炉体的顶部,构成液相外延YIG晶体生长自动控制设备;本发明的设备炉膛采用金属夹层水冷结构,炉膛顶部及底部设计有匹配温场的进出孔径,并设计有T台结构用于进行温场密封,炉体沿母线180度开合,便于温场装卸。
公开/授权文献
- CN115467015B 一种液相外延YIG晶体生长自动控制设备 公开/授权日:2024-10-11