本发明提供一种相位同步装置和方法、射频电源、半导体工艺设备，该装置中，控制模块用于在相位同步装置位于从电源时，将主电源发送的同步信号转换为数字信号，并根据转换后的数字信号的频率，控制DDS执行模块的频率，以使DDS执行模块输出的第一驱动信号的频率与同步信号的频率一致；DDS执行模块用于向控制模块反馈第一驱动信号；控制模块还用于根据第一驱动信号的数字信号和同步信号的数字信号，获得相位控制信息，并向DDS执行模块发送；DDS执行模块还用于根据相位控制信息进行移相，以使DDS执行模块输出的第二驱动信号的相位与同步信号的相位一致。本发明的技术方案，可以实现0‑360°相位可调，消除模拟信号的尖峰或波纹产生的影响，提高相位检测精度。